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LGS 200 A |
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레이저·그
라인딩·시스템
레이저·그라인딩·시스템은 웨이퍼의 그라인딩, 드릴링, 슬롯팅에 최적화 되어 있습니다. 박막 웨이퍼의 단면의 미세한 크랙을 없애는 것으로, 웨이퍼의 취급이 용이하게 됩니다.
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축
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가동 범위
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240 x 240 mm
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최대 stroke
(X x Y)
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600 x 400 mm
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정밀도
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± 3µm
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반복 정밀도
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± 1µm
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최대 축 이동 속도
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1000 mm/s
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최대 가속도
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20 m/s2
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레이저
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LD여기 펄스Nd: YAG
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파장
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532 혹은
1064 nm
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출력
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100 W
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물펌프
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수압
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20~500Bar
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노즐지름
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30µm, 35µm,
40µm, 50µm, 60µm, 75µm or 100µm
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가공물
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웨이퍼
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직경 25 에서 203 mm (1인치에서 8인치)
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후 세정
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고압 물 세정
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| 초음 파 제트 물 세정 | ||
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양면 건조
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로딩
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최대 3카셋트(6 또는 8인치)
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치수와 중량
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치수 (폭x깊이)
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1560 x 1100 mm
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중량
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950 kg
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팜플렛 및 기술 사양( 하지만
필요합니다 Adobe Reader)
