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LDS 200 A - LDS 200 C - LDS 200 M - LDS 300 A |
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레이저
·다이싱·시스템
LDS-200
은 카셋트to카셋트 가능한 자동기입니다. 절단 폭, 위치, 거친 정도 등의 품질관리 기능도 설정 가능합니다
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축
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가동 범위
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240 x 240 mm
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최대 stroke
(X x Y)
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600 x 400 mm
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정밀도
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± 3µm
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반복 정밀도
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± 1µm
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최대 축 이동 속도
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1000 mm/s
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최대 가속도
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20 m/s2
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레이저
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LD여기 펄스 Nd:YAG레이저
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파장
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532 혹은 1064 nm
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출력
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100 W
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물펌프
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수압
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20 - 500 bars
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노즐지름
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30µm, 35µm,
40µm, 50µm, 60µm, 75µm or 100µm
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가공물
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웨이퍼
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직경 25 에서 203 mm (1인치에서 8인치)
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후 세정
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고압 물 세정
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초음파 제트 물 세정
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양면 건조
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로딩
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최대 3카셋트(6 또는 8인치)
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치수와 중량
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치수 (폭x깊이)
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1560 x 1100 mm
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중량
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950 kg
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