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HLS |
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하
이브리드 레
이저 쏘
시스템 (Hybrid Laser Saw
System, HLS)
하이브리드 레이저 쏘 시스템 (HLS)은 디스코와 시노바 기술의 장점을 조합한 전자동 웨이퍼 다이싱 장비입니다. 디스코의 이중 다이싱 쏘 (dicing saw) 시스템에 시노바의 레이저 마이크로젯® (LMJ) 모듈이 장착되어 있습니다. 이 복합 턴키 시스템을 이용해 카세트에 든 300mm 웨이퍼를 전자동 처리할 수 있습니다. 충격에 민감한 부분은 레이저 마이크로젯®으로 처리하고 실리콘 기판은 다이싱 쏘로 자르는 혼합 다이싱 방식은 최고의 절단 품질 및 속도를 자랑합니다. HLS는 수율과 속도를 동시에 만족시킬 수 있는 최적의 시스템입니다.
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모션 스테이지 |
다 이싱 쏘 | 레 이저 마 이크로젯 ® | |||
| X 축 | 범위 | 310 mm | 310 mm | ||
| 최고 속도 | 01-600 mm/s | 01-600 mm/s | |||
| Y 축 | 범위 | 310 mm | 310 mm | ||
| 스텝 거리 | 0.1μm | 0.1μm | |||
| 정밀 도 | 3 μm | 3 μm | |||
| 인코 더 해상 도 | 0.1 μm interpolation | 0.1 μm interpolation | |||
| Z 축 | 범위 | 14.7 (for Ø 2” 블레이드 용 ) | n/a | ||
| 해상 도 | 0.05 μm interpolation | ||||
| 정밀 도 | 1 μm | ||||
| 블레 이드 최대 크기 | 58 mm | ||||
| Θ 축 | 회전 범위 | 380 deg. | 380 deg. | ||
| 스핀 들 | 출력 | 1.2 kW at 60’000 min -1 | n/a | ||
| 토크 | 0.19 Nm | ||||
| 회전 속도 범위 | 6’000-60’000 min-1 | ||||
| 레이 저 | 다이 오드 펌프 식 Nd:YAG 펄스 레이 저 | ||||
| 파장 | 1064 nm, 532 nm | ||||
| 최대 출력 | 50-200W, 레이 저 종류에 따라 다름 | ||||
| 워터 젯 | 수압 | 20 - 500 bar | |||
| 노즐 크기 | 30μm, 35μm, 40μm, 50μm, 60μm, 75μm, 100μm | ||||
| 부가 장치 | 전력 공급장치 |
3x200V-240V (기본 장비) - 3x400 V (옵션, 변압기 포함), 3x400V (양수기) 1x220V ( 레이저 ) |
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| 압축 공기 압력 | 5-8 bar | ||||
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2-4 bar | ||||
| 냉각 수 유속 | 14 l/min | ||||
| 스핀 들 냉각 수 유속 | 0.3 MPa 에서 3.0 l/min | ||||
| 크기 및 중량 | 크기 | 1200x1550x1800 mm | |||
| 중량 |
2050 kg (변압기 제외) 2150 (변압기 포함) |
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