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LGS 200 A |
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レーザー・グライン
ディング・システム
レーザー・グラインディング・システムはウェハの端面トリミング，面内での穴あ
け，溝堀に最適です。薄ウェハの端面のクラックを取り除くことで，ウェハの取り扱いが容易になります。
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軸
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稼動範囲
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240 x 240 mm
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最大ストローク
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600 x 400 mm
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精度
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± 3µm
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繰り返し精度
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± 1µm
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最大軸速度
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1000 mm/s
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最大加速度
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20 m/s2
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レーザー
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LD励起パルスNd: YAG
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波長
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532 あるいは 1064 nm
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出力
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100 W
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水ポンプ
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水圧
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20 から 500 気圧
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ノズル径
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30µm, 35µm, 40µm,
50µm, 60µm, 75µm or 100µm
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加工物
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ウェハ
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直径25 から203 mm
(1インチ から 8インチ) |
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後洗浄
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高圧水洗浄
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超音波ジェット水洗浄
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両面乾燥
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ローディング
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最大3カセット（6ないしは8インチ）
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寸法と重量
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寸法 （幅ｘ奥行き）
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1560 x 1100 mm
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重量
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950 kg
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パンフレットおよび技術仕様 (Adobe Reader が必要です)
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