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HLS |
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ハイブリッド・ダイシング・装置
この全自動レーザー・ブレード複合機技術は，ディスコ社
の最新のデュアル・スピンドル完全自動ダイシング装置と，SYNOVA社のレーザー・マイクロジェットの光学ヘッドを組み合わせたものです。二つのプ
ロセスを統合したターンキー装置は，完全カセット自動搬送で300ｍｍウェハまでダイシングすることができます。この複合機によりダイシング工程
でスループットと歩留まりの両面で最高の結果が得られます。
| 軸 | ブレードXYZ軸 | レーザー・マイクロジェットXY軸 | ||
| X軸 | 切断範囲 | 310 mm | 310 mm | |
| 最 高切断速度 | 01-600 mm/s | 01-600 mm/s | ||
| Y1軸 | 切 断範囲 | 310 mm | 310 mm | |
| イ ンデックス・ステップ | 0.1?m | 0.1?m | ||
| 位 置精度 | 3 ?m | 3 ?m | ||
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スケール 解像度 |
内挿 | 内 挿 | ||
| Z1軸 | 最 大ストローク | 14.7 (for ・ 2” blade) | n/a | |
| 移 動解像度 | 0.05 ?m interpolation | |||
| 繰 り返し精度 | 1 ?m | |||
| 最 大ブレード径 | 58 mm | |||
| θ 軸 | 最 大回転角度 | 380 deg. | 380 deg. | |
| ス ピンドル | 出 力 | 1.2 kW at 60’000 min -1 | n/a | |
| ト ルク | 0.19 Nm | |||
| 回 転速度 | 6’000-60’000 min-1 | |||
| レーザー | LD励起Nd:YAGパルスレーザー | |||
| 波長 | 1064 nm or 532 nm | |||
| 平均出力 | 50-200W, 各種出力があります。 | |||
| 水ポンプ | 水 圧 | 20 to 500 bar | ||
| ノ ズル径 | 30?m, 35?m, 40?m, 50?m, 60?m, 75?m or 100?m | |||
| 用力 | 電気 |
3x200V-240V ( 本体 ) ? 3x400 要変圧器 3x400V 水ポンプ ) 1x220V ( レーザー ) |
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| 空圧 | 5-8 bar | |||
| 冷却水 | 2-4 bar | |||
| ホイール冷却水 | 14 l/min | |||
| スピンドル冷却水 | 3.0 l/min at 0.3 MPa | |||
| 寸法と重量 | 寸 法 | 1200x1550x1800 mm | ||
| 重 量 |
変圧器なしで 変圧器 つき |
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