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レー
ザーマイクロジェットはシリコン、ガリウム砒素、ゲルマニウム、インジウムリン、シリコンカーバイド、窒化ガリウム、ガリウムリン、その他化合物やLow-k材料といった様々な半導体材料の高品質切断を可能にします。
主
なアプリケーションは、ウェハ・ダイシング、エッジ・グラインディング、スクライビング、穴あけ、スロット、溝彫り、インキング、絶縁層形成、薄加工そし
てマーキングです。薄(もしくは超薄)ウェハ加工、多層チップウェハ、パワー半導体、そして発光ダイオードなどを加工するために、特定のアプリケーション
が開発されました。
水
ジェット誘導レーザーは加工形状が自由であり、精密(+/- 3um)に、最高速度300mm/sのスピードで切断し同時にチッピング、バリ、熱ダメージ、機械的なダメージをな
くします。
シノヴァはこれまで,レーザーテープRをダイシングアプリケーションに勧めてき
ました。しかし社内で試験を詳しく行った結果,一般に販売されているダイシングテープのいくつかがLMJダイシングに適用可能なことがわかりました。これ
により新たなテープの検証が不要となり,現行のプロセスからの移行が容易になります。
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