Hybrid Laser Sägesystem

Die vollautomatische Hybrid-Lasersäge integriert Technologien von Disco und Synova: Discos marktführende vollautomatische Trennsäge mit doppelparalleler Spindel und Synovas optisches Kopfmodul Laser MicroJet® (LMJ). Dieses schlüsselfertig integrierte System aus zwei Maschinen in einer einzigen Anlage kann Wafer von bis zu 300 mm in einem vollautomatischen Modus von Kassette zu Kassette schneiden. Der duale Ansatz bietet optimale Schnittergebnisse hinsichtlich Durchsatz und Ausbeute. Er bietet Benutzern das Beste beider Welten zum Erzielen von höchster Qualität und hohen Ausbeuten.

Achsen			Säge- achse XYZ	Laser MicroJet® XY-Achse
	X-Achse	Schnittbereich	310 mm	310 mm
		Max. Schnitt- geschwindigkeit	01-600 mm/s	01-600 mm/s
	Y1-Achse	Schnittbereich e	310 mm	310 mm
		Vorschubschritt	0.1µm	0.1µm
		Positionierungs- genauigkeit	3 µm	3 µm
		Skalenauflösung	0.1 µm interpo- lation	0.1 µm interpo- lation
	Z1-Achse	Max. Hub	14,7 (für Klinge mit 2“ Ø)	Nicht zutreffend
		Bewegungs- auflösung	0.05 µm interpo- lation
		Wiederholungs- genauigkeit	1 µm
		Max. Klingengröße	58 mm
	Θ- Achse	Max. Drehwinkel	380 Grad	380 Grad
	Spindle	Ausgangsleistung	1,2 kW bei 60.000 U/min	Nicht zutreffend
		Nenndrehmoment	0.19 Nm
		Drehzahlbereich	6’000- 60’000 min-1

Laser	Dioden-gepumpter Festkörper Nd:YAG, pulsierend
	Wellenlänge	1064 nm oder 532 nm
	Durchschnittl. Leistung	50-200W, verschiedene Laserquellen erhältlich
Wasser- pumpe	Wasserdruck	20-500 bar
	Düsendurch- messer	30µm, 35µm, 40µm, 50µm, 60µm, 75µm oder 100µm
Versorgungs- anschlüsse	Spannungs- versorgung zur Maschine	3 x 200-240 V (Grundmaschine) – 3 x 400 V optional, mit Transformator 3 x 400 V (Wasserpumpe) 1 x 220 V (Laser)
	Druckluft	5-8 bar
	Wasserdruck- kühlung	2-4 bar
	Radwasser- kühlung	14 l/min
	Spindelkühl- wasser	3,0 l/min bei 0,3 MPa
Abmes- sungen und Gewicht	Abmessungen       (B x T)	1200x1550x1800 mm
	Gewicht	2050 kg ohne Transformator 2150 kg mit Transformator

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