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LGS 200 A |
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激光研磨系统
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微水刀激光®研磨系统适用于晶圆外圆切割、打孔和开槽，并能有效去除晶圆边缘的 微小裂隙。
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轴
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工作面积 |
240 x 240 mm |
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最大行程 (X x Y) |
600 x 400 mm |
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精确度 |
± 3μm |
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重复精度 |
± 1μm |
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最大轴速度 |
1000 mm/s |
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最大加速度 |
20 m/s2 |
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激光 |
固态Nd:YAG, 脉冲 |
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波长 |
532 或 1064 nm |
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功率 |
100 W |
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水泵 |
水压 |
20 到 500 bars |
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喷嘴直径 |
30μm, 35μm, 40μm, 50μm, 60μm, 75μm 或 100μm |
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工件 |
晶圆尺寸 |
25 到 203 mm |
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清洗 |
高压水清洁
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超声波喷流清洗
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正、反面烘干
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装载 |
最多3 盒 (6” 或 8”)
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尺寸、重量 |
尺寸 (W x D) |
1560 x 1100 mm |
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重量 |
950 kg |
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