 |
LDS 200 A - LDS 200 C - LDS 200 M - LDS 300 A |
 |
|
激光划片系统
LDS 200 A
是全自动的盒到盒设备，包括快速质量检测系统(控制切割道宽度、位置和切割表面粗糙度).
|
轴 |
工作面积 |
240 x 240 mm |
|
最大行程(X x Y) |
600 x 400 mm |
|
|
精确度 |
± 3μm |
|
|
重复精度 |
± 1μm |
|
|
最大轴速度 |
1000 mm/s |
|
|
最大加速度 |
20 m/s2 |
|
|
激光 |
固态 Nd:YAG, 脉冲 |
|
|
波长 |
532 或 1064 nm |
|
|
功率 |
100 W |
|
|
水泵 |
水压 |
20 到 500 bars |
|
喷嘴直径 |
30μm, 35μm, 40μm, 50μm, 60μm, 75μm 或 100μm |
|
|
工件 |
晶圆尺寸 |
25 到 203 mm |
|
清洗 |
高压水清洁
|
|
|
超声波喷流清洗
|
||
|
正、反面烘干
|
||
|
装载 |
最多3 盒 (6” 或 8”)
|
|
|
尺寸、重量 |
尺寸 (W x D) |
1560 x 1100 mm |
|
重量 |
950 kg |
|
|
|
||
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
  |
 |
 |
 |
 |
 |
  |
 |
 |
 |
