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微水刀激光®能够高品质地切割各种半导体材料,如:硅(Si), 砷化镓(GaAs),
锗(Ge), 磷化铟(InP), 碳化硅(SiC), 氮化镓(GaN), 磷化镓(GaP)、其他复合材料和low-k(低介电系数)材料。
主要的应用是晶圆划片、边缘磨边、划线、钻孔、挖槽、开槽、绝缘、减薄和打标等等。
已开发的特殊应用是超薄晶圆、(multi-project wafer)共用晶圆, 功率半导体和发光二极管芯片的加工。
微水刀激光的全方位切割以极快的速度(快达300 mm/s)、极高的精度 (+/- 3
μm)进行;无裂隙、机械强度高、无污染、无热损伤、无机械应力。
起初,Synova提供专利之激光胶带?,搭配其系统使用。然而,针对市场上既有的各类划片胶带进行研究后,结果显示某些供应商
的标准胶带同样也能使用,因此不需采用Synova的专用胶带,降低了用户的成本。
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六角形晶粒切割

砷化镓
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